O que é fotolitografia?
A fotolitografia é um dos processos importantes na produção de circuitos integrados (ICs ou chips). Simplificando, é o processo de copiar um padrão de circuito em um substrato usando a fotomáscara e o fotorresiste.
O substrato será pintado sobre camada isolante de dióxido de silício e fotorresistente. O fotorresiste pode ser dissolvido facilmente com um revelador após ser exposto à luz UV, após o dissolvente e gravado, o padrão do circuito será deixado no substrato.
O que é fotorresiste? Por que o comprimento de onda UV de 500 nm deve ser bloqueado?
Photoresist é combinado com resinas, solventes e aditivos. A faixa sensível à luz do fotorresistente é 200 nm-500nm. Portanto, muitos laboratórios de semicondutores adotarão luz amarela que bloqueia o comprimento de onda UV de 500 nm para evitar situações de superexposição ou exposição prematura do fotorresiste.
